1、成果水平及专利情况

系统可对大口径平面光学组件的表面形貌进行高精密在线实时测量。获得国家专利1项：大口径平面光学元件的面形检测装置和方法（专利号：ZL200910058280.0）。

2、项目内容

项目是中国工程物理研究院于2008年3月批准的外协研究项目。主要研究内容是研制一套高精密检测设备，实现在线装校状态下，对任意角度放置在模块内的大口径光学组件进行面形检测，以检测其装配形变量，并用于模块应用质量的评估。

3、成果技术特点

（1）大口径光学组件面形的在线检测。克服了干涉仪、哈特曼检测仪等难以实施在线检测和成本高等问题。（2）高精度的系统检测方法。基于角差法原理，系统测量PV精度<λ/3，重复精度PV<λ/10（λ=632.8nm）。（3）光学组件背面反射光斑自动剔除技术。实现了测量过程中光学组件背面反射光斑的剔除功能，克服了干涉仪等设备检测时需在被测光学组件背面涂抹吸光材料问题。

主要技术指标如下：

4、应用范围

（1）激光工程：大型高功率固体激光系统；

（2）天文：大型天文望远镜；

（3）光学组件加工：大口径光学组件加工与质量控制。

5、技术成熟度

系统掌握了基于角差法原理的大口径平面面形检测技术，并能进行工程实施与质量控制。

6、投资估算及资金来源

系统产品化研发总投入约400RMB，主要通过与中国工程物理研究院合作外协，申请国家创新项目，国家仪器专项等筹集资金。

7、市场前景及经济效益分析

大口径组件应力检测系统主要适用于与光学系统相关的领域，适用面广，主要可应用于如天文望远镜、同步辐射源、高功率固体激光系统等相关的光学组件加工与使用过程，用于判断光学组件的加工质量是否合格，运行质量是否达到工程技术指标。

目前国内还没有类似设备，而国家在光学系统方面的投入大，发展迅速，对大口径光学组件面形检测设备市场需求缺口大，因此该设备具有非常广阔市场以及发展前景。

8、合作方式

合作方以市场开拓为主。                                     图1.面形检测系统硬件装置

图2.大口径组件面形检测软件系统