1、成果水平及专利情况

（1）成果水平：

应用离子交换技术，在玻璃基底形成半球型聚焦微透镜阵列，进而利用飞秒激光诱导玻璃基底的内部发生折射率变化，形成微米宽度的光波导功分器，从而实现将微透镜和光波导功分器两种基本微光学元件集成在一块玻璃基底上，实现微透镜与光波导的对准和耦合，生成具有最佳性能的微光学集成器件，填补了本领域技术空白。

（2）专利情况

该成果获得国家发明专利。专利号：ZL 201110005219.7。

2、项目内容

采用飞秒钛宝石激光和离子交换技术相结合，改变一块微小玻璃折射率分布，形成微透镜与光波导功分器集成的光子器件。利用该方法进行透镜光波导集成器件的优化设计，完成透镜光波导集成器件的掩膜板的制作；系统地研究了光波导器件工艺，通过实验验证设计的正确性，研制出各项技术指标优良的透镜光波导集成产品；建成一条集设计、光刻、氧化、成膜、刻蚀、退火、切片、抛光、耦合、封装、测试于一体的透镜光波导集成器件工艺线和一套封装系统，为透镜光波导集成器件的量产打下了良好的基础；进行热稳定透镜光波导集成器件模块制作技术的研究，解决热稳定透镜光波导集成器件模块的可靠性等问题，成功制作了热稳定透镜光波导集成器件芯片。

3、成果技术特点（含主要技术指标）

制作时间相对传统方法短得多，制作成本较低，采用计算机控制制作光路对称性好，实现三维空间分布较容易等特点。

4、应用范围

该成果属于微光学元件技术领域。

5、技术成熟度

已从实验阶段成功研制出光波导1
4分路的光功分器。

6、投资估算及资金来源

预计第一期投资1000万元，需要相关企业投巨资。

7、市场前景及经济效益分析

微光学集成芯片已步入实用阶段，从应用与市场角度看，现在仍处于应用开拓阶段，这类研究在发展微电子、计算机和通讯技术方面具有战略意义。研究的目标已十分明确，发展速度惊人，其市场前景广阔，应用需求量很大具有重大社会效益和经济效益，由微光电集成系统芯片构成的光互连光交换系统将在光电子信息技术领域中发挥重大作用。该成果已逐步被西南大学、九洲光电公司等选用，但是由于数量少，批量生产不足，加上部分产品均匀性较差。如果继续投入小额资金，是可以解决产品均匀性问题。现在该产品正与四川九洲光电有限公司合作，该公司大量需求该产品。因此，该产品经过商用级装置的原理验证和技术经济论证，采取客户定制方式制造和销售, 产品风险极小。

8、合作方式

专利转让，或技术指导方式合作。